고기능성융복합화학소재
통합정보 지원시스템

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연구장비 통합 정보 지원시스템

장비정보

  • 진공 샘플 이송 모듈(Vacuum Loadlock Module)
  • - 시설장비활용번호 : 20241104000000286478
  • - 시설장비등록번호 : NFEC-2024-11-300423
  • - 고정자산관리번호 : 14019113
  • - 모델명 : 모델명 없음
  • - e-Tube No. :
  • - NTIS No. :
  • - 구분 : 보조장비
  • - 제작사 : ㈜씨엔원

기본정보

장비명 진공 샘플 이송 모듈(Vacuum Loadlock Module)
설치장소 B1층 B101호
관리기관 울산과학기술원
출처 ZEUS 공동활용가능여부 공동장비
표준분류 기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비 시설장비문의번호
시설장비 과제정보
상세내용 본 지원사업의 상세내용 새창으로 연결      바로가기 >>